QUARTZ PRODUCTS
AMAT、LAM、TEL、KEのパーツNoを提供するだけで、対応可能です。
下記に載せている製品以外にも多数扱っておりますので、詳しくはお問い合わせください。
| 項目 | OEM PN | 製品写真 |
|---|---|---|
| TUBE LINER,APC 300MM AMAT,FINAL POLISHING | 0200-11115 |  |
| INSULATOR PINLESS PCII 無側孔 | 0200-20426) |  |
| SHADOW RING QUARTZ 200MM NOTCH (FOR SSKM REPLACE) | 0200-36696 |  |
| COVER QUARTZ 8″ STEPPED | 0200-09911 |  |
| WINDOW,QUARTZ ATM CHAMBER_4MM | 0200-35222 |  |
| PLATE QUARTZ (SIZE:221) | 0200-02081 |  |
| BUSHING PREDESTAL RPC+ | 0200-00406 |  |
| HTF ROBOT BLADE(T CIP) | 0200-36638 |  |
| INSULATOR,NO HOLE,NO STAGE | 0200-20426 |  |
| APC CIP KIT | 0200-11114 |  |