FINE CERAMICS
6インチから12インチまでほとんど製造装置の製品をセカンド化してありまして台湾、シンガポール、アメリカの殆どの半導体工場で実績があります。
主な製品はShower head / face plate / chamber lid / gas manifold / Collimator / robot blade / Heater / Clamp ring / Cover ringなどがあります。
下記に載せている製品以外にも多数扱っておりますので、詳しくはお問い合わせください。
| 項目 | OEM PN | 製品写真 |
|---|---|---|
| COLLAR 200MM SNNF SML FLT | 0200-18109 |  |
| 98TT072_CAP_N_install Life pin& weight | NACZ-000010284-06+NACZ-000010284-07 |  |
| DEPEO DILION RING(TA) MODIFY | 0200-02863 |  |
| 300MM PRODUCER SEHOOP FIXED | 0200-08334 |  |
| COVER LOW PROFILE ULTIME | 0200-18081 |  |
| VECTOR CARRIER RING CIP | 15-122178-00 |  |
| COVER DC PI CIP,CERAMIC | 0020-76993 |  |
| HOOP LIFT 140FXD FLOAT | 0200-03312 |  |
| 200MM PRODUCER LIFT HOOP TB MODIFY | 0200-36649 |  |
| INSULATOR CLAMPLESS IN-SITUTEM | 0200-18090 |  |
| COMBO RING FOR VIS Ver2 | 0200-18081+0200-18109 |  |
| XPR ROBOT BLADE GUMMA 300MM | 15-293564-00 |  |
| NVLS CARRIER RING | 15-122178-00 |  |
| RING,DEPOSITION LOW PROFILE RF PVD UMC-P5 VERSION | 0200-07582 |  |
TACG-000006355-01 ROBOT BLADE PVD | 0200-06355 |  |